[发明专利]在线检测抛光垫下方气泡的方法在审
申请号: | 201910623677.3 | 申请日: | 2019-07-11 |
公开(公告)号: | CN112207634A | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 林士杰;谈文毅 | 申请(专利权)人: | 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00;B24B37/20;B24B37/34 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 361100 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开一种在线检测抛光垫下方气泡的方法,包括:将一抛光垫粘贴在一化学机械抛光机台的一基座上;进行一抛光垫磨合制作工艺,利用一调节盘研磨所述抛光垫,其中所述调节盘耦合一垫高度感应装置;以及在所述抛光垫磨合制作工艺过程中,以所述垫高度感应装置监测所述调节盘的高度变化,其中当所述调节盘的高度变化超过一预定值,将所述抛光垫从所述基座上剥离,再另粘贴一抛光垫。 | ||
搜索关键词: | 在线 检测 抛光 下方 气泡 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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