[发明专利]掩模装置的制造装置有效
| 申请号： | 201910634499.4 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110777327B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 成谷元嗣 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的之一在于提供能够以高精度对准掩模并将掩模固定在框架上的掩模装置的制造方法和制造装置。掩模装置的制造装置包括：工作台，其包括用于保持框架的框架保持工作台和具有多个升降销的对准工作台；保持部，其用于保持与工作台相对地配置的基准板；掩模保持单元，其配置在工作台与基准板之间，用于保持掩模；和用于透过基准板对工作台的方向进行拍摄的摄像机，掩模保持单元在框架侧的面保持掩模，掩模保持单元能够通过多个升降销的动作在对准工作台上升降，多个升降销包括能够与掩模保持单元接触的多个第一升降销，摄像机对形成在掩模上的第一基准标记和形成在基准板上的第二基准标记进行拍摄。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 制造 | ||
【主权项】：
1.一种掩模装置的制造装置，所述掩模装置是将掩模固定在框架上而成的，所述掩模装置的制造装置的特征在于，包括：/n工作台，其包括用于保持所述框架的框架保持工作台和具有多个升降销的对准工作台；/n保持部，其用于保持与所述工作台相对地配置的基准板；/n掩模保持单元，其配置在所述工作台与所述基准板之间，用于保持所述掩模；和/n用于透过所述基准板对所述工作台的方向进行拍摄的摄像机，/n所述掩模保持单元在所述框架侧的面保持所述掩模，/n所述掩模保持单元能够通过所述多个升降销的动作在所述对准工作台上升降，/n所述多个升降销包括能够与所述掩模保持单元接触的多个第一升降销，/n所述摄像机对形成在所述掩模上的第一基准标记和形成在所述基准板上的第二基准标记进行拍摄。/n
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