[发明专利]一种电子级硫酸生产的装置与方法在审
申请号: | 201910636090.6 | 申请日: | 2019-07-15 |
公开(公告)号: | CN110255506A | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 李少平;杜林;郭岚峰;杨着;汪鹏;廖义;周建国;汪泳;岳兵 | 申请(专利权)人: | 湖北兴福电子材料有限公司 |
主分类号: | C01B17/80 | 分类号: | C01B17/80;C01B17/775 |
代理公司: | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人: | 成钢 |
地址: | 443007 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种电子级硫酸生产的装置与方法。三氧化硫原料储罐经原料泵与汽化器一连通,汽化器一顶部与除雾器连接,除雾器顶部与冷却器一顶部连接,冷却器一底部与缓冲罐一连接,缓冲罐一经进料泵与汽化器二相连,汽化器二与吸收塔连接,吸收塔底部与缓冲罐二连接,缓冲罐二底部经循环酸泵与冷却器二连接,冷却器二与气提塔连通,气提塔连接至电子级硫酸储罐。将三氧化硫输送至汽化器一,汽化后的三氧化硫进入冷却器一,冷凝成液态后进入缓冲罐一,缓冲罐一中的三氧化硫经进料泵输送至汽化器,再次汽化后进入吸收塔,在吸收塔内采用超纯水进行循环吸收,在冷却器二成品才出管道稳定采出,经后续曝气处理后,硫酸产品品质达到SEMI‑C12级别。 | ||
搜索关键词: | 缓冲罐 冷却器 汽化器 吸收塔 三氧化硫 电子级硫酸 汽化 除雾器 进料泵 气提塔 管道稳定 硫酸产品 曝气处理 循环酸泵 循环吸收 原料储罐 超纯水 原料泵 储罐 连通 生产 | ||
【主权项】:
1.一种电子级硫酸生产的装置,其特征在于,包括三氧化硫原料储罐(1)、汽化器一(3)、除雾器(4)、冷却器一(5)、缓冲罐一(6)、汽化器二(8)、吸收塔(9)、缓冲罐二(12)、冷却器二(14)、气提塔(15),三氧化硫原料储罐(1)经原料泵(2)与汽化器一(3)连通,汽化器一(3)顶部与除雾器(4)连接,除雾器(4)顶部与冷却器一(5)顶部连接,冷却器一(5)底部与缓冲罐一(6)连接,缓冲罐一(6)经进料泵(7)与汽化器二(8)相连,汽化器二(8)与吸收塔(9)连接,吸收塔(9)底部与缓冲罐二(12)连接,缓冲罐二(12)底部经循环酸泵(13)与冷却器二(14)连接,冷却器二(14)与气提塔(15)连通,气提塔(15)连接至电子级硫酸储罐。
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