[发明专利]一种用于三寸晶圆贴蜡的方法

摘要

本发明公开了一种用于三寸晶圆贴蜡的方法，在恒温加热台上放置一块陶瓷盘，然后开启恒温加热台，设定温度为60℃，当陶瓷盘的温度升至设定温度时保持恒温一段时间，用蜡棒在陶瓷盘上涂蜡；把尺寸大小为三寸的晶圆放置于蜡层上，将恒温加热台升温至80℃；用无尘纸团按压三寸晶圆并在上下左右四个方向进行移动；用无尘纸团按压三寸晶圆的圆心位置并以圆心为中心点绕圆心打圈；重复步骤S3‑S4，直至气泡直径小于1mm；用抽真空装置抽吸三寸晶圆上的剩余气泡；将陶瓷盘放置于贴蜡机的冷却板上，使用具有冷却加压的功能的贴蜡机加压0.25MPA。本发明将研磨晶圆尺寸提升至三寸，从而可以提升后续工序的效率，极大提升整体生产效率。

主权项

1.一种用于三寸晶圆贴蜡的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1:在恒温加热台上放置一块陶瓷盘，然后开启恒温加热台，设定温度为60℃，当陶瓷盘的温度升至设定温度时保持恒温一段时间，用蜡棒在陶瓷盘上涂蜡；S2：把尺寸大小为三寸的晶圆放置于蜡层上，在60℃的陶瓷盘上进行涂蜡；S3：将恒温加热台升温至80℃，用无尘纸团按压三寸晶圆并在上下左右四个方向进行移动；S4：用无尘纸团按压三寸晶圆的圆心位置并以圆心为中心点绕圆心打圈；S5：重复步骤S3‑S4，直至气泡直径小于1mm；S6：用抽真空装置抽吸三寸晶圆上的剩余气泡；S7：将陶瓷盘放置于贴蜡机的冷却板上，加两张无尘纸，再加一硅胶垫，使用具有冷却加压的功能的贴蜡机加压0.25MPA，完成后拿出即可。