[发明专利]一种OLED蒸镀用坩埚在审
| 申请号： | 201910639694.6 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN110373633A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 张铭今;张麒麟 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及坩埚技术领域，特别涉及一种OLED蒸镀用坩埚，通过在喷嘴上设置加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内，能够避免蒸镀蒸汽在喷嘴处出现材料沉积而堵塞喷嘴的情况，保证蒸镀速率稳定正常，提高蒸镀薄膜的均匀性，改善OLED器件的品质及提高器件寿命，减轻人力劳动及缩短异常处理时间。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 喷嘴 坩埚 材料沉积 加热装置 器件寿命 异常处理 坩埚本体 均匀性 预设 薄膜 蒸汽 体内 堵塞 劳动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，包括上端具有开口的坩埚本体和盖设在所述开口处的坩埚上盖，所述坩埚上盖设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴，所述喷嘴上设有加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内。
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