[发明专利]一种蒸镀装置在审
| 申请号： | 201910639880.X | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN110373634A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 王海燕 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀装置，通过设置积灰装置对产生的非目标蒸镀物进行吸收能够保证蒸镀装置的腔体内和基板上不会附着非目标蒸镀物(氧化物或者氮化物)，从而避免因受非目标蒸镀物的污染影响到蒸镀的良率，使得蒸镀操作能够达到高真空的条件，提高基板蒸镀的效率；能够减少且通过设置积灰装置吸收非目标蒸镀物能够节省额外开腔清洁的操作，提高蒸镀的可操作性以及生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 蒸镀装置 积灰装置 开腔 基板蒸镀 生产效率 污染影响 氮化物 高真空 氧化物 附着 基板 良率 吸收 体内 清洁 保证 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括坩埚、基板、积灰装置和转动装置，所述基板位于所述坩埚的上方，所述转动装置设置在坩埚的一侧，所述积灰装置与转动装置可转动连接且位于预设初始位置，所述转动装置被配置为当坩埚中的温度达到第一预设温度值时，将所述积灰装置转动至所述坩埚的上方对产生的非目标蒸镀物进行吸收，当坩埚中的温度达到第二预设温度值时，将所述积灰装置转动至预设初始位置，所述第二预设温度值高于第一预设温度值。
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