[发明专利]闪存HTOL测试方法有效

专利信息
申请号: 201910642011.2 申请日: 2019-07-16
公开(公告)号: CN110364215B 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 潘建峰;谢振;文舜;王帆 申请(专利权)人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: G11C29/06 分类号: G11C29/06
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供了一种闪存HTOL测试方法,包括:提供待测闪存,所述闪存包括闪存参考单元和闪存阵列单元;所述闪存参考单元中捕获有空穴,所述空穴在HTOL测试过程中存在丢失;对所述闪存参考单元循环进行编译和擦除,以在所述闪存参考单元中引入电子;对所述闪存进行HTOL测试,所述引入电子在所述HTOL测试过程中存在丢失,以对HTOL测试过程中所述空穴的丢失形成补偿。降低了闪存参考单元的输出电流Iref的偏移量,从而使闪存HTOL读“0”通过,解决了闪存HTOL测试中读点失效的问题,提高闪存质量。
搜索关键词: 闪存 htol 测试 方法
【主权项】:
1.一种闪存HTOL测试方法,其特征在于,包括:提供待测闪存,所述闪存包括闪存参考单元和闪存阵列单元;所述闪存参考单元中捕获有空穴;对所述闪存参考单元循环进行编译和擦除,以在所述闪存参考单元中引入电子;对所述闪存进行HTOL测试,所述引入电子在所述HTOL测试过程中部分丢失,以对HTOL测试过程中所述空穴的丢失形成补偿。
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