[发明专利]闪存HTOL测试方法有效
申请号: | 201910642011.2 | 申请日: | 2019-07-16 |
公开(公告)号: | CN110364215B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 潘建峰;谢振;文舜;王帆 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | G11C29/06 | 分类号: | G11C29/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: |
本发明提供了一种闪存HTOL测试方法,包括:提供待测闪存,所述闪存包括闪存参考单元和闪存阵列单元;所述闪存参考单元中捕获有空穴,所述空穴在HTOL测试过程中存在丢失;对所述闪存参考单元循环进行编译和擦除,以在所述闪存参考单元中引入电子;对所述闪存进行HTOL测试,所述引入电子在所述HTOL测试过程中存在丢失,以对HTOL测试过程中所述空穴的丢失形成补偿。降低了闪存参考单元的输出电流I |
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搜索关键词: | 闪存 htol 测试 方法 | ||
【主权项】:
1.一种闪存HTOL测试方法,其特征在于,包括:提供待测闪存,所述闪存包括闪存参考单元和闪存阵列单元;所述闪存参考单元中捕获有空穴;对所述闪存参考单元循环进行编译和擦除,以在所述闪存参考单元中引入电子;对所述闪存进行HTOL测试,所述引入电子在所述HTOL测试过程中部分丢失,以对HTOL测试过程中所述空穴的丢失形成补偿。
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