[发明专利]压电感测器有效
| 申请号： | 201910643567.3 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN110333009B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 黄仲钦;许清华;谢昊伦;张倚涵;陈敬文;徐文斌 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;H01L41/113 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种压电感测器，包括基底、多个主动元件、多个电极以及压电膜。主动元件设置于基底上。电极设置基底上，且与主动元件电性连接。压电膜设置于电极上，且具有朝向电极的第一表面以及设置于第一表面的对向的第二表面。压电膜的第一表面具有多个第一凹部及第一凹部所定义的多个第一凸部。压电膜的第二表面具有多个第二凹部以及第二凹部所定义的多个第二凸部。第一凸部对应于第二凸部设置，且第一凹部对应于第二凹部设置。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 感测器 | ||
【主权项】：
1.一种压电感测器，包括：一基底；多个主动元件，设置于该基底上；多个电极，设置该基底上，且与所述主动元件电性连接；以及一压电膜，设置于所述电极上，且具有朝向所述电极的一第一表面以及设置于该第一表面的对向的一第二表面；其中，该压电膜的该第一表面具有多个第一凹部及所述第一凹部所定义的多个第一凸部，该压电膜的该第二表面具有多个第二凹部以及所述第二凹部所定义的多个第二凸部，所述第一凸部对应于所述第二凸部设置，且所述第一凹部对应于所述第二凹部设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于友达光电股份有限公司，未经友达光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910643567.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电容式触觉传感器
- 下一篇：一种叉指型大面积柔性阵列传感器及其制备方法
