[发明专利]SRAM的存储单元结构版图、SRAM的存储单元结构及其版图有效

专利信息
申请号: 201910643900.0 申请日: 2019-07-17
公开(公告)号: CN110400797B 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 周晓君 申请(专利权)人: 上海华力集成电路制造有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L27/11;G11C11/412;G11C11/417
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 郭四华
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及SRAM的存储单元结构版图、SRAM的存储单元结构及其版图,涉及半导体集成电路制造方法,在SRAM的存储单元结构中增加两个P型辅助管En1‑1和En1‑2,两个P型辅助管En1‑1和En1‑2把有源区AA连接起来,并两个P型辅助管En1‑1和En1‑2处于常关闭状态而永远无电流通过,所以具有本发明的SRAM的存储单元结构版图的SRAM的存储单元结构的读写操作和现有技术的SRAM的存储单元结构一致,且有效的抑制多晶硅和有源区的桥(bridge)缺陷,降低下拉管PU的电性失配(mismatch),减少缺陷(defect)带来的器件失效,并其与传统工艺兼容,不增大成本。
搜索关键词: sram 存储 单元 结构 版图 及其
【主权项】:
1.一种SRAM的存储单元结构版图,其特征在于,包括:第一有源区,第一有源区中形成有SRAM的存储单元结构的第一存储单元第二PMOS管PU1‑2、第一存储单元第三PMOS管En1‑1、第二存储单元第三PMOS管En2‑1和第二存储单元第二PMOS管PU2‑2;第二有源区,第二有源区中形成有第一存储单元第四PMOS管En1‑2、第一存储单元第一PMOS管PU1‑1、第二存储单元第一PMOS管PU2‑1和第二存储单元第四PMOS管En2‑2,其中,第一存储单元第二PMOS管PU1‑2和第一存储单元第一PMOS管PU1‑1为第一存储单元的上拉管,第一存储单元第三PMOS管En1‑1和第一存储单元第四PMOS管En1‑2为第一存储单元的辅助管,第二存储单元第三PMOS管En2‑1和第二存储单元第四PMOS管En2‑2为第二存储单元的辅助管,第二存储单元第二PMOS管PU2‑2和第二存储单元第一PMOS管PU2‑1为第二存储单元的上拉管;第一存储单元第二PMOS管PU1‑2和第一存储单元第四PMOS管En1‑2的栅极结构由第一多晶硅形成;第一存储单元第一PMOS管PU1‑1和第一存储单元第三PMOS管En1‑1的栅极结构由第二多晶硅形成;第二存储单元第一PMOS管PU2‑1和第二存储单元第三PMOS管En2‑1的栅极结构由第三多晶硅形成;第二存储单元第四PMOS管En2‑2和第二存储单元第二PMOS管PU2‑2的栅极结构由第四多晶硅形成;其中,设置第一存储单元第三PMOS管En1‑1、第二存储单元第三PMOS管En2‑1、第一存储单元第四PMOS管En1‑2和第二存储单元第四PMOS管En2‑2,使第一存储单元第三PMOS管En1‑1、第二存储单元第三PMOS管En2‑1、第一存储单元第四PMOS管En1‑2和第二存储单元第四PMOS管En2‑2处于常关闭状态而永远无电流通过。
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