[发明专利]热处理装置和热处理方法

摘要

本发明提供一种能够控制处理容器的长度方向上的气体供给管内的气体的温度的技术。本发明的一个方式的热处理装置包括：收纳基片的竖长的处理容器；气体供给单元，其具有沿上述处理容器的内壁面上下延伸的气体供给管；加热单元，其包括设置于上述处理容器的周围的隔热材料和沿上述隔热材料的内壁面设置的发热体；和冷却单元，其包括：形成于上述隔热材料的外侧的流体流路；以及贯通上述隔热材料的吹出孔，其一端与上述流体流路连通，另一端与上述处理容器和上述隔热材料之间的空间连通，能够向上述气体供给管吹出冷却流体，上述吹出孔沿上述气体供给管的长度方向设置有多个。

主权项

1.一种热处理装置，其特征在于，包括：/n收纳基片的竖长的处理容器；/n气体供给单元，其具有沿所述处理容器的内壁面上下延伸的气体供给管；/n加热单元，其包括设置于所述处理容器的周围的隔热材料和沿所述隔热材料的内壁面设置的发热体；和/n冷却单元，其包括：形成于所述隔热材料的外侧的流体流路；以及贯通所述隔热材料的吹出孔，其一端与所述流体流路连通，另一端与所述处理容器和所述隔热材料之间的空间连通，能够向所述气体供给管吹出冷却流体，/n所述吹出孔沿所述气体供给管的长度方向设置有多个。/n