[发明专利]保护部件形成装置有效
| 申请号： | 201910649051.X | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110802509B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 波冈伸一 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供保护部件形成装置，抑制气泡进入保护部件中。用于对晶片(W)进行保持的保持工作台(52)具有多个销(55)，晶片保持面(52a)包含多个销(55)的前端。因此，较小的灰尘进入至销(55)彼此之间，因此不容易残留在晶片保持面(52a)与晶片(W)之间。因此，在对晶片(W)进行吸引保持时，在晶片保持面(52a)与晶片(W)之间不容易产生间隙，因此可抑制在存在起伏的状态下对晶片(W)进行保持。因此，当将液态树脂在晶片(W)的下表面(Wb)上推展时，在液态树脂与晶片(W)之间不容易进入气泡。由此，能够抑制气泡进入通过使液态树脂硬化而得到的保护部件中。 | ||
| 搜索关键词： | 保护 部件 形成 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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