[发明专利]有机EL显示面板的制造方法有效
申请号: | 201910652007.4 | 申请日: | 2019-07-18 |
公开(公告)号: | CN110783494B | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 福田敏生 | 申请(专利权)人: | 株式会社日本有机雷特显示器 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 马强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 有机EL显示面板的制造方法,通过实现发光层(123)膜厚均匀化改善亮度不均,包括:在基板(100x)上在行方向并列设置多个在列方向延伸的列围堰(522Y);在列围堰间间隙(522z)连续涂布含有机发光材料的油墨;使覆盖涂布区域的整流板(400)成为从基板上面离开第一距离(Y1)的状态,在该状态下将包含基板的气氛的压力减压至第一压力(P1);在气氛的压力达到第一压力后,使整流板成为从基板的上面离开比第一距离大的第二距离(Y2)的状态,在该状态下将气氛的压力减压至比第一压力低的第二压力(P2)以下的压力;通过加热基板形成发光层(123);在除去整流板的状态下在有机功能层上方形成对置电极(125)。 | ||
搜索关键词: | 有机 el 显示 面板 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种有机EL显示面板的制造方法,其特征在于,/n是一种有机EL显示面板的制造方法,其包括:/n准备基板的工序;/n在所述基板上以行列状形成多个像素电极的工序;/n在所述基板上的至少行方向上的所述像素电极与所述像素电极之间,在行方向上并列设置多个在列方向上延伸的列围堰的工序;/n在行方向上相邻的所述列围堰间的间隙中,分别在列方向上连续地涂布含有有机发光材料的油墨的工序;/n在俯视中,至少使覆盖所述基板的涂布了所述油墨的区域的整流板成为从所述基板的上表面离开了第一距离的状态,在所述状态下将包含所述基板的气氛的压力减压至第一压力的工序;/n在所述气氛的压力达到所述第一压力后,使所述整流板成为从所述基板的上表面离开了比所述第一距离大的第二距离的状态,在所述状态下将所述气氛的压力减压至比所述第一压力低的第二压力以下的压力的工序;/n通过加热所述基板而形成有机功能层的工序;/n在除去所述整流板的状态下在所述有机功能层上方形成对置电极的工序。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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