[发明专利]一种光罩、阵列基板及其制作方法在审
| 申请号： | 201910659215.7 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110398848A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 陈方甫 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1362;G03F1/38;H01L21/77 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光罩，包括：主图案区域，所述主图案区域内包括位于其一端的第一子线路图案和位于相对另一端的第二子线路图案；以及位于所述主图案区域外的：第一虚拟线路图案，与所述第一子线路图案相邻；第二虚拟线路图案，与所述第二子线路图案相邻；其中，所述第一虚拟线路图案与所述第一子线路图案的长宽比相同且面积相等，所述第二虚拟线路图案与所述第二子线路图案的长宽比相同且面积相等；有益效果：本发明通过在新产品光罩制作中，在闸极驱动线路图案旁加入同密度和形状的虚拟线路图案进行黄光制程，可提高闸极驱动在生产制程中的均一性，减小GOA制程闸极驱动沟道大小差异，达到提升产品品质的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 子线路图案 虚拟线路 图案 主图案 光罩 闸极 面积相等 长宽比 制程 产品品质 大小差异 黄光制程 技术效果 驱动线路 阵列基板 驱动 均一性 沟道 减小 制作 生产 | ||
【主权项】：
1.一种光罩，其特征在于，包括：主图案区域，所述主图案区域内包括位于其一端的第一子线路图案，和位于相对另一端的第二子线路图案；以及，位于所述主图案区域外的：第一虚拟线路图案，与所述第一子线路图案相邻；第二虚拟线路图案，与所述第二子线路图案相邻；其中，所述第一虚拟线路图案与所述第一子线路图案的长宽比相同且面积相等，所述第二虚拟线路图案与所述第二子线路图案的长宽比相同且面积相等。
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