[发明专利]缺陷检测方法及缺陷检测系统在审
| 申请号： | 201910662387.X | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110346394A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 金绍彤;许平康;方桂芹 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种缺陷检测方法及缺陷检测系统，包括：提供晶圆，所述晶圆包括检测面，所述检测面具有待检测缺陷；获取所述待检测缺陷的缺陷信息；根据所述缺陷信息获取拍摄放大倍数；根据所述拍摄放大倍数对所述待检测缺陷进行拍摄处理，获取检测图像，所述检测图像包括待检测缺陷图像。本发明技术方案提供的缺陷检测方法中，先获取所述待检测缺陷的面积信息，根据所述面积信息获取拍摄放大倍数，针对不同大小的所述待检测缺陷，能够进行对应的放大倍数调节，从而获取最佳的拍摄视野。通过该方法能够一次拍摄出清晰且全面的缺陷图像，避免了后续的重新拍摄，从而提高对缺陷检测的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 拍摄 检测 缺陷检测 缺陷检测系统 检测图像 面积信息 缺陷图像 缺陷信息 放大 晶圆 放大倍数调节 检测面 面具 清晰 视野 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：提供晶圆，所述晶圆包括检测面，所述检测面具有待检测缺陷；获取所述待检测缺陷的缺陷信息；根据所述缺陷信息获取拍摄放大倍数；根据所述拍摄放大倍数对所述待检测缺陷进行拍摄处理，获取检测图像，所述检测图像包括所述待检测缺陷的图像。
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