[发明专利]显示装置制造方法及显示装置制造系统在审
| 申请号： | 201910665031.1 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110783495A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 田宇植;吴彦锡;金相烈;汉戈奇努莉·赵 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L21/02 |
| 代理公司： | 11204 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了显示装置制造方法及显示装置制造系统，该显示装置制造方法包括：准备衬底；在衬底上形成包括至少一个第一电极的显示器初级结构；将其上形成有显示器初级结构的衬底布置在处理腔室中，并且在保持处理腔室中的压力气氛低于大气压力的同时将紫外线照射到衬底上；在显示器初级结构上形成中间层，中间层包括发光层；以及在中间层上形成第二电极。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 初级结构 中间层 显示器 处理腔室 显示装置 显示装置制造系统 紫外线照射 大气压力 第二电极 第一电极 压力气氛 发光层 制造 | ||
【主权项】：
1.显示装置制造方法，包括：/n准备衬底；/n在所述衬底上形成包括至少一个第一电极的显示器初级结构；/n将上面形成有所述显示器初级结构的所述衬底布置在处理腔室中，并且在保持所述处理腔室中的压力气氛低于大气压力的同时将紫外线照射到所述衬底上；/n在所述显示器初级结构上形成中间层，所述中间层包括发光层；以及/n在所述中间层上形成第二电极。/n
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
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