[发明专利]一种曝光机的光源在审
| 申请号： | 201910665574.3 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110376851A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 陈志特;王华;高剑;曾雪华 | 申请（专利权）人： | 东莞科视自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种曝光机的光源，依次设有光源、平行光组件、光路修正组件；所述光源的光路依次穿过所述平行光组件和光路修正组件；所述平行光组件的光路方向平行于所述光路修正组件的中心轴；所述光路修正组件的透光部侧壁设有若干环形槽；所述环形槽中心的连线平行于所述光路修正组件的中心轴。有益效果是：采用螺旋状方式对光路进行了修正，使得LED的光束经过光学聚光后，光束纯正，无杂光；光学模组采用面阵方式排列成矩形或近似矩形，形成高能量高准值度的面阵光源。 | ||
| 搜索关键词： | 光路修正 光源 平行光 曝光机 中心轴 光路 环形槽中心 螺旋状方式 方向平行 光学聚光 光学模组 近似矩形 面阵光源 高能量 环形槽 透光 部侧 连线 面阵 杂光 平行 穿过 修正 | ||
【主权项】：
1.一种曝光机的光源，其特征在于：依次设有光源（1）、平行光组件（2）、光路修正组件（3）；所述光源（1）的光路依次穿过所述平行光组件（2）和光路修正组件（3）；所述平行光组件（2）的光路方向平行于所述光路修正组件（3）的中心轴；所述光路修正组件（3）的透光部（30）侧壁设有若干环形槽（31）；所述环形槽（31）中心的连线平行于所述光路修正组件（3）的中心轴。
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