[发明专利]具有共振电路的晶圆支撑座有效
| 申请号： | 201910671250.0 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110416052B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 荒见淳一;格雷格.苏王 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 甄玉荃 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆支撑座，包含：多个电极及多个共振电路电性耦接至各自的电极，每一共振电路配置成至少根据连接电极的一讯号调整一阻抗，藉此于一处理期间改变该电极对应的等离子体分布。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 共振 电路 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆支撑座，其特征在于，包含：一盘体；一第一电极及一第二电极，嵌入于该盘体，其中该第一电极位于该盘体的一内径范围，该第二电极位于相对于该盘体的内径范围的一外径范围；及一第一共振电路及一第二共振电路，分别电性耦接至该第一电极及该第二电极，其中该第一共振电路配置成至少根据该第一电极的一讯号调整一第一阻抗，该第二共振电路配置成至少根据该第二电极的一讯号调整一第二阻抗。
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