[发明专利]对准方法

摘要

提供对准方法，快速地寻找对准标记。具有如下工序：在比拍摄单元(51)的拍摄区域小的区域中登记对准标记(MA)的工序；将多个拍摄图像结合起来而形成包含对准标记的结合图像(G1)，形成存储了从结合图像的各像素起存在对准标记的方向距离的映射图(K)的工序；存储对工作台(30)所保持的新晶片进行拍摄而得的新拍摄图像(G2)的第1存储工序；使新拍摄图像与映射图进行匹配，在映射图中寻找与新拍摄图像相同的亮度分布区域，对相同的亮度分布区域与对准标记的方向距离进行存储的第2存储工序；在根据在第2存储工序中存储的方向距离使工作台移动后，确认在所拍摄的图像(G3)中有无对准标记的工序，如果在确认工序中拍摄到对准标记，则根据对准标记来确定分割预定线。

主权项

1.一种对准方法，使卡盘工作台对由设定于正面的第1分割预定线和与该第1分割预定线交叉的第2分割预定线划分的各区域内形成有器件的晶片进行保持，利用拍摄单元对该卡盘工作台所保持的晶片进行拍摄，检测配置于该各区域的对准标记，从而确定该第1分割预定线和该第2分割预定线，其中，/n该对准方法具有如下的工序：/n登记工序，该拍摄单元的拍摄区域比该各区域小，利用比该拍摄区域小的区域来登记该对准标记；/n映射图形成工序，使该拍摄单元所拍摄到的多个图像进行结合，形成面积为由第1中心线、第2中心线、第3中心线和第4中心线这四条中心线围绕而成的面积以上的、包含有该对准标记的结合图像，从而形成存储了从该结合图像的各像素起存在该对准标记的方向和距离的映射图，其中，该第1中心线穿过该第1分割预定线的宽度的中心，该第2中心线穿过相邻的该第1分割预定线的宽度的中心，该第3中心线穿过该第2分割预定线的宽度的中心，该第4中心线穿过相邻的该第2分割预定线的宽度的中心；/n第1存储工序，存储新拍摄图像，该新拍摄图像是利用该拍摄单元对新保持于该卡盘工作台的晶片进行拍摄而得到的；/n第2存储工序，使该新拍摄图像与该映射图进行图案匹配，在该映射图中寻找与该新拍摄图像相同的亮度分布的区域，对该相同的亮度分布的区域与该对准标记之间的距离以及从该相同的亮度分布的区域起存在该对准标记的方向进行存储；/n确认工序，当根据在该第2存储工序中存储的该距离和该方向使该卡盘工作台进行了移动之后，确认在利用该拍摄单元对晶片进行拍摄而得到的图像中是否拍摄到该对准标记，/n如果在该确认工序中拍摄到该对准标记，则根据该对准标记来确定该第1分割预定线和该第2分割预定线。/n