[发明专利]一种衍射光栅保护结构及其制备方法有效
申请号: | 201910679696.8 | 申请日: | 2019-07-26 |
公开(公告)号: | CN110488395B | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 于宏柱;唐玉国;糜小涛;于海利;齐向东;巴音贺希格;李文昊;张善文 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G02B1/14 | 分类号: | G02B1/14;G02B5/18;C23C14/24 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供了一种衍射光栅保护结构,为多层结构,包括衍射光栅,及表面尺寸与衍射光栅的表面尺寸相同的分离层、反射层、树脂层、保护玻璃;分离层采用真空蒸镀的方法镀于衍射光栅的表面,反射层采用真空蒸镀的方法镀于分离层上,将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆于反射层上,保护玻璃与衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上,环氧树脂固化后形成位于反射层与保护玻璃间的树脂层。本发明还提供了一种衍射光栅保护结构的制备方法,在衍射光栅的表面依次真空蒸镀分离层、反射层,在反射层上用环氧树脂粘接保护玻璃。本发明的衍射光栅保护结构及其制备方法,对衍射光栅的表面进行有效保护,避免衍射光栅在存储、运输过程中受到污染和损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 衍射 光栅 保护 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种衍射光栅保护结构,其特征在于,为多层结构,包括衍射光栅、分离层、反射层、树脂层、保护玻璃;所述分离层、所述反射层、所述树脂层、所述保护玻璃的表面尺寸与所述衍射光栅的表面尺寸相同;/n所述分离层采用真空蒸镀的方法镀于所述衍射光栅的表面,所述反射层采用真空蒸镀的方法镀于所述分离层上,将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆于所述反射层上,所述保护玻璃与所述衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上,环氧树脂固化后形成位于所述反射层与所述保护玻璃间的所述树脂层。/n
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