[发明专利]一种缺陷检测装置及其方法有效
| 申请号： | 201910684263.1 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110286130B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 于凯航 | 申请（专利权）人： | 上海御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种缺陷检测装置，包括：载物台，其用于承载待测物；发光元件，其与待测物正对设置，其用于照射待测物；移动调节组件，其与发光元件连接，用于调节发光元件与待测物之间的相对位置；第一偏振片，其位于发光元件与待测物之间；图像采集单元，其位于发光元件远离待测物的一侧，用于采集待测物的图像；第二偏振片，其位于图像采集单元与发光元件之间，第二偏振片与第一偏振片的偏振方向互相垂直；图像处理单元，其与图像采集单元连接，用于根据图像采集单元采集的图像对待测物表面缺陷进行识别，可在多个照明角度下进行缺陷检测，并且避免在缺陷检测时出现高光，以实现提高缺陷检出率。本发明还公开了一种缺陷检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：载物台，所述载物台用于承载待测物；发光元件，所述发光元件与所述待测物正对设置，所述发光元件用于照射所述待测物；移动调节组件，所述移动调节组件与所述发光元件连接，用于调节所述发光元件与所述待测物之间的相对位置；第一偏振片，所述第一偏振片位于所述发光元件与所述待测物之间；图像采集单元，所述图像采集单元位于所述发光元件远离所述待测物的一侧，用于采集所述待测物的图像；第二偏振片，所述第二偏振片位于所述图像采集单元与所述发光元件之间，所述第二偏振片与所述第一偏振片的偏振方向互相垂直；图像处理单元，所述图像处理单元与所述图像采集单元连接，所述图像处理单元用于根据所述图像采集单元采集的图像对所述待测物表面缺陷进行识别。
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