[发明专利]半导体存储装置在审
申请号: | 201910687436.5 | 申请日: | 2019-07-25 |
公开(公告)号: | CN111725227A | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 小林茂树;塩川太郎;园田真久 | 申请(专利权)人: | 东芝存储器株式会社 |
主分类号: | H01L27/1157 | 分类号: | H01L27/1157;H01L27/11582 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 杨林勳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明的实施方式提供一种选择栅极线与接点之间的连接良好的半导体存储装置。本发明的一实施方式的半导体存储装置具备:多个第1导电体层,在第1方向上积层;第1半导体层,在所述多个第1导电体层内沿所述第1方向延伸;第1电荷累积层,设置在所述多个第1导电体层与所述第1半导体层之间;多个第2导电体层,在所述多个第1导电体层的上方沿所述第1方向积层;以及第3导电体层,从所述多个第2导电体层之中最下层的上表面起,在所述多个第2导电体层之中除所述最下层以外的1个或多个层内沿所述第1方向延伸,且与所述多个第2导电体各自的上表面相接。 | ||
搜索关键词: | 半导体 存储 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的