[发明专利]衬底平整度检测仪的修复装置和方法有效
| 申请号： | 201910688365.0 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110625517B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 吴康;何永杰;李敏;邵巧丽;王关龙 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/10 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 羊淑梅 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种衬底平整度检测仪的修复装置和方法，属于晶片检测技术领域。所述衬底平整度检测仪具有圆形的图形化表面，所述图形化表面用于放置待检测的衬底；所述修复装置包括磨料和研具，所述磨料铺设在所述图形化表面上，所述研具通过所述磨料与所述图形化表面相抵，所述研具与所述图形化表面之间发生相对滑动；所述磨料由碳化硼颗粒、金刚石颗粒、悬浮剂和水组成，所述碳化硼颗粒的质量分数为所述金刚石颗粒的质量分数的2倍～3倍。本发明可以有效修复衬底平整度检测仪的图形化表面，延长图形化表面的使用寿命，将图形化表面所在部件的购买和维修次数从50次以上/年减少到2次以下/年，大幅降低衬底的制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 平整 检测 修复 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种衬底平整度检测仪的修复装置，所述衬底平整度检测仪具有圆形的图形化表面，所述图形化表面用于放置待检测的衬底；其特征在于，所述修复装置包括磨料和研具，所述磨料铺设在所述图形化表面上，所述研具通过所述磨料与所述图形化表面相抵，所述研具与所述图形化表面之间发生相对滑动；所述磨料由碳化硼颗粒、金刚石颗粒、悬浮剂和水组成，所述碳化硼颗粒的质量分数为所述金刚石颗粒的质量分数的2倍～3倍。/n
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