[发明专利]处理系统有效
| 申请号： | 201910692841.6 | 申请日： | 2015-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN110488576B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 鬼头义昭;加藤正纪;奈良圭;堀正和 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/16;G03F7/24;G03F9/00;H01L21/67;B65H18/10;B65H20/24;B65H23/188 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧;任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供提供一种即使是在以任一处理装置对片状基板实际实施的处理的状态与目标的处理状态不同时，亦能在无需停止制造系统全体的情形下，进行电子元件的制造的处理系统及元件制造方法。一种将长条的可挠性片状基板(P)沿长条方向依序搬送至第1～第3处理装置(PR2～PR4)的各个，以在片状基板(P)形成既定图案的处理系统(10)，第1～第3处理装置(PR2～PR4)依据设定于各个处理装置的设定条件对片状基板(P)施以既定处理，在第1～第3处理装置(PR2～PR4)的各个中对片状基板(P)实施的实处理状态中的至少一者相对目标的处理状态呈现处理误差(E)的情形时，使呈现处理误差(E)的设定条件以外的其他设定条件因应处理误差(E)变化。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 系统 | ||
【主权项】：
1.一种处理系统，通过将长条的可挠性片状基板沿长条方向往多个处理装置的各个依次搬送，于前述片状基板形成既定图案，/n前述多个处理装置包含在前述片状基板的搬送方向上设置于上游侧的第1处理装置、与设置于下游侧的第2处理装置，/n前述处理系统具备：/n第1信息形成装置，在前述片状基板的一部分形成与前述第1处理装置根据第1设定条件对前述片状基板所实施的处理状态、或处理误差相关的第1信息；/n第2信息形成装置，在前述片状基板的一部分形成与前述第2处理装置根据第2设定条件对前述片状基板所实施的处理状态、或处理误差相关的第2信息；/n信息收集装置，通过设在前述片状基板的搬送路中的信息读取部，读取并收集形成在前述片状基板的前述第1信息或前述第2信息；以及/n控制装置，根据通过前述信息收集装置收集的前述第1信息，按照需要修正前述第2设定条件，根据通过前述信息收集装置收集的前述第2信息，按照需要修正前述第1设定条件。/n
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