[发明专利]研磨垫有效
| 申请号： | 201910692943.8 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110856908B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 小岛胜义;黑田步里纱 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/26;B24B37/10;B24B27/00;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供研磨垫，能够适当地提供研磨液。该研磨垫具有圆盘状的基材和上表面侧粘贴在基材上的研磨层，其中，研磨层具有：多个贯通孔，它们按照上下贯通研磨层的方式形成，用于提供研磨液；以及多个槽，它们形成于研磨层的下表面侧，与贯通孔连结，多个贯通孔按照围绕研磨层的中心的方式形成，多个槽从多个贯通孔朝向研磨层的外周呈放射状形成。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【主权项】：
暂无信息
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