[发明专利]一种制备锡酸钡陶瓷靶材的方法在审
申请号: | 201910694790.0 | 申请日: | 2019-07-30 |
公开(公告)号: | CN110272276A | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 杜文汉;杨景景;郑敏;卞维柏;张信华;陈磊 | 申请(专利权)人: | 常州工学院 |
主分类号: | C04B35/457 | 分类号: | C04B35/457;C04B35/622 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 王昊 |
地址: | 213032 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种制备锡酸钡陶瓷靶材的方法,按照物质量比1∶1,将碳酸钡和氧化锡粉末球磨混合,其中碳酸钡和/或氧化锡的粒径为纳米级;将第一步碳酸钡和氧化锡混合粉末在800~900℃大气气氛中预烧结3~4h;将第二步碳酸钡和氧化锡预烧结混合物球磨;将第三步碳酸钡和氧化锡预烧结混合物粉末压片;将第四步碳酸钡和氧化锡预烧结混合物压片在900~1000℃大气气氛中保温烧结20~24h,自然冷却,得锡酸钡陶瓷靶材成品。一方面缩短了锡酸钡靶材固相反应烧结时间,另一方面降低了锡酸钡靶材的固相反应烧结温度,从而有效降低了锡酸钡靶材固相反应烧结过程中的能耗,符合节能环保要求。 | ||
搜索关键词: | 碳酸钡 锡酸钡 氧化锡 固相反应烧结 预烧结混合物 陶瓷靶材 靶材 大气气氛 制备 氧化锡粉末 保温烧结 粉末压片 混合粉末 节能环保 球磨混合 物质量比 纳米级 预烧结 粒径 球磨 压片 能耗 | ||
【主权项】:
1.一种制备锡酸钡陶瓷靶材的方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:按照1∶1的物质量比,将分析纯的碳酸钡和氧化锡置于球磨机中研磨10~12h,其中碳酸钡和/或氧化锡的粒径为纳米级,得碳酸钡和氧化锡混合粉末;S2:将碳酸钡和氧化锡混合粉末置于800~900℃大气气氛中预烧结3~4h,自然冷却至室温,得碳酸钡和氧化锡预烧结混合物;S3:将碳酸钡和氧化锡预烧结混合物置于球磨机中研磨2~3h,得碳酸钡和氧化锡预烧结混合物粉末;S4:将碳酸钡和氧化锡预烧结混合物粉末中加入一定质量的辅助粘结剂,搅拌均匀,压片,得碳酸钡和氧化锡预烧结混合物压片;S5:将碳酸钡和氧化锡预烧结混合物压片置于900~1000℃大气气氛中保温烧结20~24h,自然冷却至室温,得锡酸钡陶瓷靶材。
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