[发明专利]干式清洗装置有效
| 申请号： | 201910694873.X | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN112296015B | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 吉野悟志;郭昊 | 申请（专利权）人： | 理光高科技（深圳）有限公司;雷欧电子株式会社 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 曲天佐 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供干式清洗装置，该干式清洗装置具有：清洗槽(11)，其在内部容纳清洗介质(A)且具有开口，在所述开口(O)配置清洗对象(M)；气体供给单元(2)，其向清洗槽(11)内供给气体而使清洗介质(A)飞散，通过使飞散的清洗介质(A)碰撞清洗对象(M)来去除污垢；控制单元(4)，其控制气体供给单元(2)的气体供给；状态检测单元(5、6)，其检测开口(O)的封闭状态；在状态检测单元(5、6)检测出开口(O)不为封闭状态时，控制单元(4)禁止气体供给单元(2)供给气体。由此，能够通过简单的方式防止清洗介质泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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