[发明专利]一种基板自动对位夹具装置和自动对位方法有效
| 申请号： | 201910696073.1 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110355703B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 林金升;关江兵;刁成伟;张春辉;潘文科;傅伟;孔令洲 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种基板自动对位夹具装置和自动对位方法。该基板自动对位夹具装置包括：基台；第一组推压夹具和第二组推压夹具，第一组推压夹具中的推压夹具分布在基台相接的两条边上，第二组推压夹具中的推压夹具分布在基台相接的另外两条边上；至少第一组推压夹具中的推压夹具上设置有距离传感器，至少第二组推压夹具中的推压夹具上设置有压力传感器；控制电路，用于根据距离传感器和压力传感器的反馈信号，控制推压夹具移动，直至以预设压力夹持基板。本发明实施例解决了现有基板夹具的夹持位置需要进行人工计算和设定的问题，实现了对基板的自动对位夹持，同时可避免人工设置时由误差等导致的对基板的损坏，提高夹持过程中基板的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 对位 夹具 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板自动对位夹具装置，其特征在于，包括：基台，所述基台包括首尾相接的四条边；第一组推压夹具和第二组推压夹具，所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具分别包括至少三个推压夹具，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具分布在所述基台相接的两条边上，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具分布在所述基台相接的另外两条边上；至少所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器，至少所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有压力传感器，所述距离传感器用于测量所述推压夹具与所述基台的距离，所述压力传感器用于测量所述推压夹具与待夹持基板之间的压力；控制电路，分别与所述推压夹具、所述距离传感器和所述压力传感器电连接，所述控制电路用于根据所述距离传感器和所述压力传感器的反馈信号，控制所述推压夹具移动，直至以预设压力夹持所述基板。
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