[发明专利]柔性传动机构、往复运动机构及升降装置有效

专利信息
申请号: 201910702119.6 申请日: 2019-07-31
公开(公告)号: CN112298940B 公开(公告)日: 2021-09-17
发明(设计)人: 李冰;陈淮阳;郑教增;庞飞;郝凤龙 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: B65G35/00 分类号: B65G35/00;B66F7/14;B66F7/28
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种柔性传动机构、往复运动机构及升降装置,能够实现高精度的传动,保证运动的可靠性。本发明的往复运动机构包括机架、载物台、原动件、从动件、导向机构和柔性传动机构,所述导向机构至少包括一组导轨滑块机构,且所述载物台安装在导轨滑块机构的滑块上,所述柔性传动机构分别连接从动件和载物台。实际应用时,所述原动件用于驱动从动件沿轴向运动,且所述从动件用于通过柔性传动机构驱动载物台在导轨滑块机构的直线导轨上沿Z向移动,而所述柔性传动机构能够带动载物台相对于从动件沿X向和Y向移动。这样做即使导轨和做直线运动的从动件存在不平行的问题,也能够确保机构顺畅运行。
搜索关键词: 柔性 传动 机构 往复 运动 升降 装置
【主权项】:
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