[发明专利]一种机械手交接工位标定方法、装置、设备及存储介质有效
| 申请号： | 201910702431.5 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112296997B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 周文贤;向军;郑教增;姜杰;朱正平;庞飞;郝凤龙;牛增欣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机械手交接工位标定方法、装置、设备及存储介质。方法包括：在发生碰撞后，判断最近的前两次碰撞的碰撞点是否位于“V”形槽同一侧的内壁上，若是，则控制机械手以前一次步进的步进方向和步进距离进行步进，并控制机械手沿碰撞方向运动直至第一标定部与“V”形槽的内壁发生碰撞；若否，则控制机械手以第二步进方向以及第二步进距离进行步进，并控制机械手沿碰撞方向运动直至第一标定部与“V”形槽的内壁发生碰撞，在每次碰撞时，判断是否满足工位标定指标，若否，则继续执行碰撞操作，直至满足工位标定指标。本发明在保证工位标定精度的前提下，减少了第一标定部与“V”形槽的碰撞次数，减少了标定时间，提高了标定效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 交接 标定 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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