[发明专利]一种扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法及系统

摘要

本发明公开了一种扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法及系统。所述修复方法包括：获取带有扰动信号的样品扫描图像；对所述带有扰动信号的样品扫描图像进行修正，直至所述带有扰动信号的样品扫描图像上的亮白条纹消失，确定修正后的样品扫描图像以及最佳修正系数；获取所述最佳修正系数所对应的所述修正后的样品扫描图像的当前热电子释放时产生的释放电压值；根据所述最佳修正系数以及所述释放电压值建立最佳修正系数‑释放电压值关系；根据所述最佳修正系数‑释放电压值关系对待修复的样品扫描图像进行修复。采用本发明所提供的修复方法及系统能够消除高温扫描图像出现亮度变化的横条纹，提高高温扫描图像的成像质量。

主权项

1.一种扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法，其特征在于，包括：获取带有扰动信号的样品扫描图像；所述带有扰动信号的样品扫描图像为带有亮白条纹的扫描图像；所述亮白条纹为热电子释放时产生的扰动信号；其中，所述亮白条纹的亮度越高，热电子释放越多，释放电压越大；对所述带有扰动信号的样品扫描图像进行修正，直至所述带有扰动信号的样品扫描图像上的亮白条纹消失，确定修正后的样品扫描图像以及最佳修正系数；获取所述最佳修正系数所对应的所述修正后的样品扫描图像的当前热电子释放时产生的释放电压值；根据所述最佳修正系数以及所述释放电压值建立最佳修正系数‑释放电压值关系；根据所述最佳修正系数‑释放电压值关系对待修复的样品扫描图像进行修复。