[发明专利]工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备有效
| 申请号： | 201910711611.X | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN111623934B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 龙超祥 | 申请（专利权）人： | 深圳市远望工业自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 孙大勇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福海街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备。工作台交换机构控制方法所控制的工作台交换机构包括第一承载件、第二承载件、第一工作台及第二工作台，工作台交换机构控制方法包括以下步骤：承载件预设初始位置驱动或保持步骤、工作台上升驱动步骤、承载件工位互换步骤、工作台下降驱动步骤和承载件工位再互换步骤，本发明的工作台交换机构控制方法具有较高的自动化程度和工作效率，并且，采用工作台交换机构控制方法的质谱检漏设备具有较高的自动化程度和检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 交换 机构 控制 方法 检漏 设备 | ||
【主权项】：
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