[发明专利]一种具有加热装置的蒸镀坩埚在审
| 申请号： | 201910718627.3 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN110438454A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 张麒麟;卢玄龙;崔洪新;余玲玲 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 林振杰 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种具有加热装置的蒸镀坩埚，包括设有喷嘴的坩埚本体、蒸发源遮挡板和控制器，蒸发源遮挡板位于喷嘴上方，蒸发源遮挡板远离喷嘴的一侧面上设有加热装置，通过设置加热装置为提供将蒸发源遮挡板上附着的蒸镀物加热至汽态所需的热量，起到自动清理蒸发源遮挡板上附着的材料的作用，避免在每次切换蒸发源遮挡板时材料脱落造成蒸镀源内材料交差污染，且能够避免了定期打开蒸镀腔体更换蒸发源遮挡板而造成的制程时间延长，从而提升了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 遮挡板 蒸发源 加热装置 蒸镀 喷嘴 附着 坩埚 生产效率 时间延长 蒸镀腔体 自动清理 坩埚本体 控制器 蒸镀源 汽态 制程 加热 污染 | ||
【主权项】：
1.一种具有加热装置的蒸镀坩埚，其特征在于，包括设有喷嘴的坩埚本体、蒸发源遮挡板和控制器，所述蒸发源遮挡板位于所述喷嘴上方；所述蒸发源遮挡板远离所述喷嘴的一侧面上设有加热装置，所述加热装置包括壳体，所述壳体的内腔设有加热单元和温度传感器，所述加热单元设置在所述壳体内腔靠近所述蒸发源遮挡板的一侧面上，所述加热单元被配置为提供将所述蒸发源遮挡板上附着的蒸镀物加热至汽态所需的热量；所述控制器分别与所述加热单元和温度传感器电连接，所述控制器被配置为当所述温度传感器检测到所述壳体内腔的当前的温度值高于预设温度值时控制所述加热单元保持当前产生的热量使得所述壳体内腔维持在当前的温度值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建华佳彩有限公司，未经福建华佳彩有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910718627.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
