[发明专利]一种高整流比有机复合薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910720397.4 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110438450A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 蓝碧健 | 申请（专利权）人： | 太仓碧奇新材料研发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 朱智杰 |
| 地址： | 215400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体技术领域，具体为一种高整流比有机复合薄膜的制备方法。本发明提出的方法是在铝箔上依次真空蒸镀2‑(4‑咔唑‑l‑基‑苯基)‑1H‑苯并咪唑、6R,7R)‑7‑氨基‑3‑［2‑(4‑甲基‑5‑噻唑)乙烯基］‑8‑氧代‑5‑硫‑1‑氮杂双环［4.2.0］辛‑2‑烯‑2‑羧酸、2‑(2‑乙氧基苯基)‑5‑甲基‑7‑丙基‑3H‑咪唑并[5,1‑f][1,2,4]三嗪‑4‑酮、7,8‑二羟基‑3‑(3’,4’,5’‑三甲氧基苯基)香豆素、铝，得高整流比有机复合薄膜，该有机复合薄膜的整流比为591万~632万。 | ||
| 搜索关键词： | 有机复合薄膜 制备 半导体技术领域 三甲氧基苯基 氨基 乙氧基苯基 苯并咪唑 氮杂双环 真空蒸镀 铝箔 二羟基 乙烯基 苯基 丙基 三嗪 香豆 咔唑 咪唑 羧酸 | ||
【主权项】：
1.一种高整流比有机复合薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：将5cm× 4cm× 0.1mm的铝箔置于真空镀膜机中，在真空度为2×10‑3 Pa下，在铝箔上依次蒸镀30~50nm厚的2‑(4‑咔唑‑l‑基‑苯基)‑1H‑苯并咪唑、30~50nm厚的6R,7R)‑7‑氨基‑3‑［2‑(4‑甲基‑5‑噻唑)乙烯基］‑8‑氧代‑5‑硫‑1‑氮杂双环［4.2.0］辛‑2‑烯‑2‑羧酸 、30~50nm厚的2‑(2‑乙氧基苯基)‑5‑甲基‑7‑丙基‑3H‑咪唑并[5,1‑f][1,2,4]三嗪‑4‑酮、30~50nm厚的7,8‑二羟基‑3‑(3’,4’,5’‑三甲氧基苯基)香豆素、100~150nm厚的铝，得高整流比有机复合薄膜；其中高整流比有机复合薄膜的性能是，整流比为591万~632万。
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