[发明专利]干涉测量波度检测系统在审
| 申请号： | 201910725154.X | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN110823137A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | S.金;Y.程 | 申请（专利权）人： | 金宝电子印第安纳公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/06;G01N21/45 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 秦宝龙;刘春元 |
| 地址： | 美国印*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种干涉仪检测系统，包括接收准直光信号并将该信号分成第一光信号和第二光信号的分束器。该系统包括第一镜，其沿第一路径接收并反射第一光信号。该系统包括第二镜，其通过透明材料沿第二路径接收和反射第二光信号。该系统包括2D光传感器阵列，其被配置为从分束器接收与双程通过透明材料的反射的第二光信号合并的反射的第一光信号，并且被配置为产生干涉条纹图案。非正弦干涉条纹图案指示沿第一路径的反射的第一光信号的波前与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的波前之间的几何变化。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 测量 检测 系统 | ||
【主权项】：
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