[发明专利]药液供应装置有效
| 申请号： | 201910725870.8 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN110947578B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 金载烈;郑㕄容;徐永昊;金大星;吴凡政;田光福;权铉九;孙尚郁 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 药液供应装置可包括药液吐出部件、储存槽、药液供应部件及药液循环部件。所述药液吐出部件能够向基板上吐出药液，所述储存槽能够储存向所述药液吐出部件供应的所述药液。所述药液供应部件能够将储存于所述储存槽的所述药液供应到所述药液吐出部件，所述药液循环部件能够从所述药液吐出部件向所述储存槽循环所述药液。本发明的药液供应装置能够防止药液供应装置内的药液停滞或闭塞。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 供应 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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