[发明专利]蒸镀设备及其防着板在审
| 申请号： | 201910728994.1 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110453181A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 姜亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄威<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 518132广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括：一壳体，所述壳体内形成有一蒸镀腔；一坩埚，设置于所述蒸镀腔内，用以容置一蒸镀材料；以及一防着板，设置于所述蒸镀腔内，并且所述防着板位于所述壳体与所述坩埚之间，所述防着板包括：一支撑基板，所述支撑基板具有一粗糙表面；及一辐射热吸收层，设置于所述粗糙表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 防着板 蒸镀腔 粗糙表面 蒸镀设备 支撑基板 壳体 坩埚 辐射热吸收层 蒸镀材料 容置 体内 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀设备包括：/n一壳体，所述壳体内形成有一蒸镀腔；/n一坩埚，设置于所述蒸镀腔内，用以容置一蒸镀材料；以及/n一防着板，设置于所述蒸镀腔内，并且所述防着板位于所述壳体与所述坩埚之间，所述防着板包括：/n一支撑基板，所述支撑基板具有一粗糙表面；及/n一辐射热吸收层，设置于所述粗糙表面上。/n
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