[发明专利]一种钝化接触双面太阳电池的制作方法在审
申请号: | 201910732834.4 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN110571304A | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 钟潇;白玉磐;付少剑;陈园 | 申请(专利权)人: | 江西展宇新能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/068 |
代理公司: | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王小清 |
地址: | 334100 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明提供了一种钝化接触双面太阳能电池的制作方法,将背面沉积氮化硅薄膜的硅片依次经过:去绕镀及制绒;硼扩散;边缘隔离;去除BSG;沉积正面钝化层氧化铝层和氮化硅层;丝网印刷和烧结,得到钝化接触双面太阳电池。其中,本发明提供的方法通过选择特定的制作工艺路线,使得本发明提供的工艺与现有已知的工艺相比不仅节省了制作钝化接触双面太阳能电池的步骤,且可以达到95%以上的产品批次良率。 | ||
搜索关键词: | 钝化 双面太阳能电池 沉积氮化硅薄膜 双面太阳电池 正面钝化层 氮化硅层 丝网印刷 氧化铝层 制作工艺 烧结 硼扩散 硅片 良率 制绒 沉积 去除 制作 背面 隔离 | ||
【主权项】:
1.一种钝化接触双面太阳电池的制作方法,包括:将背面沉积氮化硅薄膜的硅片依次经过:/n1)去绕镀及制绒;/n2)硼扩散;/n3)边缘隔离;/n4)去除BSG;/n5)沉积正面钝化层氧化铝层和氮化硅层;/n6)丝网印刷和烧结;/n得到钝化接触双面太阳电池。/n
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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