[发明专利]减压干燥装置及减压干燥方法

摘要

本发明公开了一种减压干燥装置及减压干燥方法。该减压干燥装置包括密封腔体、抽气机构、盖板以及驱动机构，抽气机构设置在密封腔体的外部且与密封腔体连通，盖板设置在密封腔体的内部，盖板具有多个挥发通孔，多个挥发通孔用于与多个像素坑一一对应，驱动机构设置在密封腔体且内连接于所述盖板以用于驱动所述盖板运动。该减压干燥装置能够使像素坑内的发光材料薄膜的厚度更加均匀、表面更加平坦、改善最终成膜的形貌和提高膜厚均匀性。本发明的减压干燥装置通过改变像素坑内墨水在边缘和中间区域的挥发速率，在墨水内形成一种新的液体流动，来抵消部分毛细管流动，从而抑制咖啡环效应，改善成膜形貌和提高膜厚均匀性。