[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模装置及其制造方法、蒸镀方法有效
申请号: | 201910733597.3 | 申请日: | 2019-08-09 |
公开(公告)号: | CN110819938B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 细田哲史;村田佳则 | 申请(专利权)人: | 大日本印刷株式会社 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于英慧;崔成哲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供蒸镀掩模、蒸镀掩模装置及其制造方法、蒸镀方法。蒸镀掩模具有:掩模,其具有形成有第1贯通孔的镀敷层;以及支承体,其与掩模接合,并形成有在俯视时与第1贯通孔重叠的第2贯通孔。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀掩模 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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