[发明专利]体声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 201910735292.6 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN112039481A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 周春宇 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/04 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315803 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种体声波谐振器及其制造方法，该体声波谐振器包括：压电叠层；位于压电叠层上的介质层，介质层中设有贯穿介质层空腔；位于介质层上的基板，基板覆盖介质层；位于基板中的伪腔，伪腔贯穿基板，且伪腔延伸至空腔外围的介质层中；位于介质层中的气压平衡孔，气压平衡孔连通伪腔和空腔；在基板和压电叠层之间的介质层中设置空腔，以便在压电叠层的压电材料与空腔交界处形成全反射界面，通过气压平衡孔使空腔和伪腔相连通，实现基板与压电叠层之间的空腔内部与外部压力平衡，防止基板由于内外压力不平衡而导致的向空腔内部凹陷变形。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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