[发明专利]一种粉末颗粒透射电子显微镜试样的制备方法

摘要

本发明属于透射电子显微镜（TEM）样品制备技术领域,具体涉及一种粉末颗粒透射电子显微镜试样的制备方法。本发明要提供一种粉末颗粒透射电子显微镜试样的制备方法，以克服现有技术存在的工艺复杂、制备TEM样品薄区范围小和制样成本高的问题。为了达到上述目的，本发明提供的解决方案是：通过在不含磁性的支撑泡沫结构中镶嵌粉末颗粒进而离子减薄获得具有较多薄区的TEM样品。该方法简单易行、成本低，可获得具有较多薄区的TEM粉末样品。本发明适用于各种常规颗粒，颗粒粒径尺寸为亚微米、微米或亚毫米级；同时，本发明具有通用性，不仅适合金属颗粒，也适合非金属颗粒。

主权项

1.一种粉末颗粒透射电子显微镜试样的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤1）、根据粉末颗粒的粒径尺寸选择平均孔洞尺寸略大于颗粒平均粒径的不含磁性的支撑泡沫结构，泡沫金属网的厚度为0.1mm-1mm，剪取可获得至少一个φ3mm面积的泡沫方形网备用；/n步骤2）、取少量样品粉末均匀洒落在泡沫网上，粉末层厚度为泡沫网厚度的1/5-1/4为宜；/n步骤3）、将泡沫网放于平台上，敲击或震动平台，使得粉末颗粒逐渐漏入泡沫网的孔洞中；/n步骤4）、用镊子轻拿内部镶嵌有粉末颗粒的泡沫网，加压将泡沫网压扁；/n步骤5）、压缩泡沫网按在砂纸上打磨，获得薄片；/n步骤6）、将薄片放于TEM试样打孔器中，获得圆形薄片；/n步骤7）、对圆形薄片进行离子减薄，即可获得薄区范围较大的TEM试样。/n