[发明专利]一种拉曼探针冷热台及其气体环境测试腔组件在审
| 申请号： | 201910744241.X | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN110346351A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 邱迎迎;宋风宽 | 申请（专利权）人： | 郑州科探仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 王学芝 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市中原区冉*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种拉曼探针冷热台及其气体环境测试腔组件，拉曼探针冷热台，包括测试腔组件和设置于测试腔组件上的显微镜，测试腔组件包括外壳和外壳上盖板，外壳上盖板上设置有供显微镜拉曼观察的观察窗，外壳内设置有供芯片放置的载物台和用于向待检测芯片的相应极端电性连接的探针，外壳上设置有与外壳内腔连通的用于向外壳内腔通入试验气体或抽真空的气体接头，外壳上还设置有用于与对应探针电性连接的电接头，所述外壳内还设置有加热装置。气体接头可以实现外壳内部的真空环境或者充入所需的不同试验气体环境，而且外壳内部设置有加热装置，可以实现在不同温度下的试验环境，功能多，通用性强，可以满足不同测试环境的要求，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 测试腔 探针 冷热 电性连接 加热装置 气体环境 气体接头 试验气体 外壳内部 外壳内腔 上盖板 显微镜 测试环境 检测芯片 试验环境 通用性强 芯片放置 真空环境 组件包括 抽真空 电接头 观察窗 载物台 连通 观察 | ||
【主权项】：
1.一种拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件，包括外壳和外壳上盖板，外壳上盖板上设置有用于供显微镜拉曼观察的观察窗，其特征在于：所述外壳内设置有供芯片放置的载物台和用于向待检测芯片的相应极端电性连接的探针，外壳上设置有与外壳内腔连通的用于向外壳内腔通入试验气体或抽真空的气体接头，外壳上还设置有用于与对应探针电性连接的电接头，所述外壳内还设置有加热装置。
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