[发明专利]溅射靶部件、溅射膜及其制造方法，溅射靶、膜体有效
| 申请号： | 201910746078.0 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN111364011B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 远藤瑶辅;山本浩由;桃井元;角田浩二;奈良淳史 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;H01L51/54;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京伟思知识产权代理事务所(普通合伙) 11725 | 代理人： | 聂宁乐;胡瑾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
提供一种溅射靶部件，其适于得到具有高功函数以及波长633nm下的折射率1.9～2.1等特性的溅射膜。所述溅射靶部件，由Ga、In、O以及不可避免的杂质形成，Ga/In的原子比为0.90以上且为1.11以下，在EPMA的面分析中，与全部晶相相比(Ga，In) |
||
| 搜索关键词： | 溅射 部件 及其 制造 方法 膜体 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于JX金属株式会社，未经JX金属株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910746078.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：活塞式发动机
- 下一篇：一种密度敏感自适应流量控制阀
- 同类专利
- 专利分类
