[发明专利]显示器及其制造方法有效
| 申请号： | 201910746737.0 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110571349B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 牛柏澄 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种显示器及其制造方法，所述显示器的制造方法包括：提供刚性基板；将所述刚性基板进行图案化，使所述刚性基板具有凹槽；形成柔性层于经图案化的所述刚性基板上，其中所述柔性层具有一第一厚度，且所述柔性层对应所述凹槽保形地形成凹陷区；形成薄膜晶体管层以及深孔于所述柔性层上，其中所述深孔对应并连接所述凹陷区；以及将所述刚性基板自所述柔性层移除,且一并移除在所述凹槽中的所述柔性层，使所述柔性层的所述凹陷区具有一第二厚度，其中所述第二厚度小于所述第一厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 显示器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显示器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS10提供刚性基板；/nS20将所述刚性基板进行图案化，使所述刚性基板具有凹槽；/nS30形成柔性层于经图案化的所述刚性基板上，其中所述柔性层具有第一厚度，且所述柔性层对应所述凹槽保形地形成凹陷区；/nS40形成薄膜晶体管层以及深孔于所述柔性层上，其中所述深孔对应并连接所述凹陷区；以及/nS50将所述刚性基板自所述柔性层移除,且一并移除在所述凹槽中的所述柔性层，使所述柔性层的所述凹陷区具有第二厚度，其中所述第二厚度小于所述第一厚度。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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