[发明专利]一种用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置有效
| 申请号： | 201910749071.4 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN111036013B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 罗志敏;廖惠东 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置，包括捕捉腔室，所述捕捉腔室内沿尾气的流动方向依次设有用于对尾气进行加热的加热区、用于对尾气进行冷却的冷却区、以及用于对尾气进行过滤的过滤区，所述加热区配设有水汽输入管。本发明具有有利于捕捉尾气中的粉尘，将尾气中的Al(CH |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 pecvd 设备 尾气 粉尘 捕捉 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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