[发明专利]一种适用于大尺寸花篮传输及位置保持的传送装置在审
| 申请号： | 201910754483.7 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN110491815A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 仇慧生 | 申请（专利权）人： | 东方环晟光伏(江苏)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 12213 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 栾志超<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种适用于大尺寸花篮传输及位置保持的传送装置，包括传输带，还包括调节装置，调节装置与传输带连接，调节装置对传输带的纵向的倾斜度或横向的倾斜度进行调节，使得放置于传输带上的花篮处于倾斜状态，便于硅片排列整齐。本发明的有益效果是具有调节装置，使得放置于传输带上传输的花篮保持倾斜状态，使得硅片在传输过程中向一侧倾斜，防止硅片之间摩擦，导致硅片表面划伤，保证硅片表面质量，避免硅片之间不整齐导致硅片之间摩擦而划伤。 | ||
| 搜索关键词： | 传输带 调节装置 硅片 倾斜度 花篮 硅片表面 倾斜状态 划伤 摩擦 整齐 传输过程 传送装置 硅片排列 位置保持 传输 保证 | ||
【主权项】：
1.一种适用于大尺寸花篮传输及位置保持的传送装置，包括传输带，其特征在于：还包括调节装置，所述调节装置与所述传输带连接，所述调节装置对所述传输带的纵向的倾斜度或横向的倾斜度进行调节，使得放置于所述传输带上的花篮处于倾斜状态，便于硅片排列整齐。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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