[发明专利]传片系统及光刻机有效
| 申请号： | 201910756610.7 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110436203B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 齐兆宇 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G51/01 | 分类号： | B65G51/01;B65G13/00;B65G39/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 132013 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种传片系统及光刻机，涉及光刻机的技术领域，包括传送轨道和预对准机构；传送轨道两侧边缘设有贴片，贴片配置成传送过程中避免被加工工件与传送轨道的工作面摩擦；预对准机构包括分别位于传送轨道两侧的驱动导轮和预对准定位轮，驱动导轮上设有第一导轮槽，驱动导轮配置成与预对准定位轮配合抵接被加工工件，且驱动卡入第一导轮槽内的被加工工件旋转。本发明的目的在于提供一种传片系统及光刻机，以缓解了现有技术中存在的硅片关键区域划伤的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种传片系统，其特征在于，包括：传送轨道(100)和预对准机构(200)；所述传送轨道(100)两侧边缘设有贴片(110)，所述贴片(110)配置成传送过程中避免被加工件与所述传送轨道(100)的工作面摩擦；所述预对准机构(200)包括分别位于所述传送轨道(100)两侧的驱动导轮(210)和预对准定位轮(220)，所述驱动导轮(210)上设有第一导轮槽(211)，所述驱动导轮(210)配置成与所述预对准定位轮(220)配合抵接所述被加工件，且驱动卡入所述第一导轮槽(211)内的所述被加工件旋转。
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