[发明专利]一种光学加工系统及光学加工方法有效
申请号: | 201910757488.5 | 申请日: | 2019-08-16 |
公开(公告)号: | CN110543090B | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 王喆;邹如飞 | 申请(专利权)人: | 北京钛极科技有限公司 |
主分类号: | G03H1/04 | 分类号: | G03H1/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张雪娇 |
地址: | 100022 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请公开了一种光学加工系统及光学加工方法,光学加工系统的光加工模块和离轴透射式数字全息模块中包括共路设置的共路模块,该共路模块将光加工模块和离轴透射式数字全息模块有机结合为一个全新的光学加工系统,使得该系统在实现对待加工对象的光学加工功能的基础上,同时能够获取表征待加工对象的三维结构信息的数字全息图,以使技术人员可以根据待加工对象的三维结构信息实现更加精细的加工过程。相较于传统的光学加工系统只能将待加工对象在加工完成后,拿到成像系统中进行成像的“离线”过程,本申请提供的系统可以实现在光加工的同时,利用离轴透射式数字全息模块进行待加工对象的实时三维结构信息获取的“实时、在线反馈”的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 加工 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光学加工系统,其特征在于,包括:光加工模块、离轴透射式数字全息模块和数字全息图记录器件;其中,/n所述光加工模块和离轴透射式数字全息模块包括共路设置的共路模块;/n位于所述光加工模块中的所述共路模块,用于对紫外加工光束进行收集和准直处理后向待加工对象传输,以对所述待加工对象进行光学加工;/n位于所述离轴透射式数字全息模块中的所述共路模块,用于对第一光束进行准直处理后向所述待加工对象传输,以使所述第一光束经过所述待加工对象后成为携带待加工对象信息的物光;/n所述数字全息图记录器件,用于根据所述物光和所述离轴透射式数字全息模块提供的参考光记录所述待加工对象的数字全息图,所述数字全息图用于表征所述待加工对象的三维结构信息;/n其中,所述参考光和所述第一光束为相干光。/n
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