[发明专利]智能暖机方法及系统有效
| 申请号： | 201910758809.3 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110400733B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 刘振华;陈国动 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/302 | 分类号： | H01J37/302;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种智能暖机方法及系统，该智能暖机方法包括：判断当前腔室的空置时间是否大于预设时间；若判断结果为是，对当前腔室进行智能暖机；若判断结果为否，获取当前腔室的智能暖机模式；若智能暖机模式表征为无需分析智能暖机所需的工艺配方，则直接对当前腔室进行智能暖机。通过本发明提高了腔室环境恢复速度。 | ||
| 搜索关键词： | 智能 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种智能暖机方法，其特征在于，所述方法包括：判断当前腔室的空置时间是否大于预设时间；若判断结果为是，对所述当前腔室进行智能暖机；若判断结果为否，获取所述当前腔室的智能暖机模式；若所述智能暖机模式表征为无需分析智能暖机所需的工艺配方，则直接对所述当前腔室进行智能暖机。
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