[发明专利]谐振器及其制造方法、滤波器、电子设备有效
| 申请号： | 201910760041.3 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN112117979B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 黄河;向阳辉 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/10;H03H9/145;H03H9/15 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 高静 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种谐振器及其制造方法、滤波器、电子设备，制造方法包括：提供晶圆级衬底，包括压电振荡有效区，压电振荡有效区的衬底上形成有声学换能器；在压电振荡有效区的衬底上形成覆盖声学换能器的牺牲层；形成覆盖牺牲层的第一盖帽层；在第一盖帽层中形成至少一个释放孔；通过释放孔去除牺牲层，形成空腔；去除牺牲层后，形成覆盖第一盖帽层的第二盖帽层，第二盖帽层密封释放孔。所述空腔采用半导体工艺所形成，形成牺牲层和去除牺牲层的工艺简单，这降低了制造谐振器的工艺复杂度，而且，所述第一盖帽层与衬底的结合强度高、第二盖帽层和第一盖帽层的结合强度高，且第一盖帽层和第二盖帽层对所述空腔的密封性较好，这相应提高了谐振器的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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